[반도체/설비] ESC(ElectroStatic Chuck)이란..??
반도체 Etch 설비의 가장 고가의 파트이기도 하지만,,, 가장 손상받기 쉬우며,,,, 그리고 가장 어려운 자재를 꼽자면 ESC(Electrostatic Chuck)으로 말할 수 있다. ESC는 진공 챔버 내부에 주로 가장 중간에 위치하며, Silicon Wafer를 놓는 곳으로 사용된다. 챔버 내 저압 유지, 플라즈마 유도, 가스 유입 간에 움직일 수 있는 변수를 최소화하기 위해 ESC를 활용하여 Wafer를 잡아주게 된다. 물리적으로 잡아주는 방법에 대해서도 논해지기도 하였지만, Wafer상부 수율, 및 Wafer 깨지는 현상이라는 치명적인 단점 때문에, Electrostatic 즉 정전기 힘으로 Wafer를 붙잡아주는 역할을 하게 된다. 즉 정전기의 힘을 사용하여 기판을 하부전극(Cathode)으로..
2022. 10. 23.
